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公司新聞

日本福樂FLUORO非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列

非接觸式晶圓傳送伯努利卡盤BC系列的特點

伯努利卡盤BC-K系列
  • 主體可選擇20度、45度、90度，水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。
    （使用角度是固定的，不改變主體就無法改變使用角度。）
  • 由于導向擋塊具有輕微的錐度，因此晶片的邊緣會在一點處接觸。
  • 由抗靜電聚碳酸酯制成的導向環可以目視確認定位和吸附狀態。
  • 主體采用導電尼龍樹脂，實現了輕量化。
  • 它可以處理雙面印刷有圖案的晶圓，以及難以處理的薄至 50μm 的晶圓。
  • 我們還支持與目標對象相匹配的定制設計產品，例如方形。

伯努利卡盤BC-K系列
  • 由于伯努利卡盤使用高壓，出于**考慮，我們建議使用按鈕朝下，就像氣    槍一樣。（請參閱左圖。）

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列的工作原理

當晶圓放置在導向環的四個白色銷釘內并按下啟動按鈕時，晶圓會浮起并接近中心。之后用黑色方銷固定，可以無接觸運輸。

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列產品概述

伯努利卡盤BC-K系列

◆請從20度、45度、90度中選擇主機。通過更換導向環可以處理各種晶圓。導環更換也很容易。



為了保證真空鑷子能夠長期安心使用，我們進行了長期閥門耐久測試，每天重復開關按鈕8小時。
在0.3Mpa氣壓下進行。

蓉公網安備 51012402000290號