便于鐘罩的安裝和拆卸的把手。
成膜設備可選部件
其他
ULVAC
便于鐘罩的安裝和拆卸的把手。
名稱 | 用途 |
鐘罩蓋 | 玻璃鐘罩用手柄/防止玻璃飛散 |
鐘罩支架 | 玻璃鐘罩用手柄 |
玻璃鐘罩 | 成膜用玻璃容器 |
金屬鐘罩(附水冷盤管) | 鐘罩防止內部過熱 (昇降設備請另外購買) |
昇降設備 | 鐘罩升降用 (鐘罩蓋請另外購買) |
饋通圈16端口 | 導入端口增設 |
控制操作盤 | 控制機器收納 |
側面板(控制操作盤用) | **規定 |
背板(控制操作盤用) | **規定 |
※桌面型蒸發設備,僅可對應鐘罩蓋和玻璃鐘罩。
■便于鐘罩取出放下的手柄