成都西野供應日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
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產品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
產品型號: CS4800
產品展商: 日本日立HITACHI
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簡單介紹
成都西野供應日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
搭載日立***技術的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動化操作，將有助于提高客戶現有生產線的生產力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對半導體電子器件生產的多樣化需求。
成都西野供應日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
成都西野供應日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
的詳細介紹
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考慮了更換現有設備或共同使用情況下的設備占地面積和GUI*1
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通過**設備的研發經驗，搭載了高精度測量技術和*新的計量應用。
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通過光學軸自動化調整，減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
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更高的圖像處理技術，實現Recipe自動測量并提高產能。
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新的晶圓搬送系統兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
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GUI (Graphic User Interface):使用計算機的圖形顯示器和鼠標等指示設備的軟件操作系統。
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測量精度
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1nm（3σ）（采用日立標準晶圓）
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晶圓尺寸
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直徑 100mm, 150mm, 200mm
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自動裝片裝置
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2個
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設備尺寸（主體）
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1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米
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